Полисилицийді дайындау әдісі.

1. Жүктелуде

Жылу алмасу үстеліне қапталған кварц тигельді қойыңыз, кремний шикізатын қосыңыз, содан кейін жылыту жабдығын, оқшаулағыш жабдықты және пеш қақпағын орнатыңыз, пештегі қысымды 0,05-0,1 мбарға дейін төмендету үшін пешті эвакуациялаңыз және вакуумды ұстаңыз. Пештегі қысымды негізінен 400-600 мбар шамасында ұстау үшін аргонды қорғаныс газы ретінде енгізіңіз.

2. Жылыту

Пештің корпусын қыздыру үшін графит қыздырғышты қолданыңыз, алдымен графит бөліктерінің, оқшаулағыш қабаттың, кремний шикізатының және т.б. бетінде адсорбцияланған ылғалды буландырыңыз, содан кейін кварц тигелінің температурасы шамамен 1200-1300 дейін жету үшін баяу қыздырыңыз.℃. Бұл процесс 4-5 сағатты алады.

3. Балқыту

Пештегі қысымды негізінен 400-600 мбар шамасында ұстау үшін аргонды қорғаныс газы ретінде енгізіңіз. Тигельдегі температураны шамамен 1500-ге бейімдеу үшін қыздыру қуатын біртіндеп арттырыңыз℃, ал кремний шикізаты ери бастайды. 1500 шамасында сақтаңыз℃балқыту процесі кезінде балқыту аяқталғанға дейін. Бұл процесс шамамен 20-22 сағатты алады.

4. Кристаллдың өсуі

Кремний шикізаты ерігеннен кейін тигельдің температурасын шамамен 1420-1440 дейін төмендету үшін қыздыру қуаты төмендейді.℃, бұл кремнийдің балқу температурасы. Содан кейін кварц тигелі бірте-бірте төмен қарай жылжиды немесе оқшаулау құрылғысы бірте-бірте көтеріледі, осылайша кварц тигелі қыздыру аймағынан баяу шығып, қоршаған ортамен жылу алмасуды құрайды; сонымен бірге төменнен балқыманың температурасын төмендету үшін салқындатқыш пластина арқылы су өткізіледі, ал кристалды кремний алдымен түбінде пайда болады. Өсу процесінде қатты-сұйықтық интерфейсі кристалдық өсу аяқталғанша әрқашан көлденең жазықтыққа параллель болып қалады. Бұл процесс шамамен 20-22 сағатты алады.

5. Күйдіру

Кристаллдың өсуі аяқталғаннан кейін, кристалдың түбі мен үстіңгі бөлігі арасындағы үлкен температура градиентіне байланысты, кремний пластинасын қыздыру және аккумуляторды дайындау кезінде қайтадан сынуы оңай болатын құймада термиялық кернеу болуы мүмкін. . Сондықтан кристалдық өсу аяқталғаннан кейін кремний құймасының температурасын біркелкі ету және термиялық кернеуді азайту үшін кремний құймасын балқу температурасына жақын жерде 2-4 сағат ұстайды.

6. Салқындату

Кремний құймасы пеште жасытылғаннан кейін қыздыру қуатын өшіріңіз, жылу оқшаулағыш құрылғыны көтеріңіз немесе кремний құймасын толығымен төмендетіңіз және кремний құймасының температурасын біртіндеп төмендететін пешке аргон газының үлкен ағынын енгізіңіз. бөлме температурасы; сонымен бірге пештегі газ қысымы атмосфералық қысымға жеткенше бірте-бірте көтеріледі. Бұл процесс шамамен 10 сағатты алады.